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晶圓表面顆粒與劃傷分類檢測

封裝工序中晶圓表面的顆粒、劃傷形態各異,是影響芯片良率的高頻缺陷來源。

場景 · 晶圓表面:劃傷 / 顆粒 / 崩邊

晶圓表面顆粒與劃傷分類檢測

挑戰與方案

晶圓表面顆粒與劃傷分類檢測

挑戰傳統檢測漏檢率高達 3%,誤報率 20%,且每次換型需要 30 分鐘以上的人工調參。

方案視覺基礎模型 + APDT 正樣本/少樣本學習,1–20 張良品即可在 5 分鐘內完成 0 代碼建模。

99.2%檢出率
-85%誤報率
<0.8%漏檢率
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推薦機型:3D AI AOI · AOI 軟件

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本文由人工智慧生成。文中客戶案例為基於產品真實能力的模擬場景,成效數字為示例性質;官方標定口徑以產品頁為準。