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晶圆表面颗粒与划伤分类检测

封装工序中晶圆表面的颗粒、划伤形态各异,是影响芯片良率的高频缺陷来源。

场景 · 晶圆表面:划伤 / 颗粒 / 崩边

晶圆表面颗粒与划伤分类检测

挑战与方案

晶圆表面颗粒与划伤分类检测

挑战传统检测漏检率高达 3%,误报率 20%,且每次换型需要 30 分钟以上的人工调参。

方案视觉基础模型 + APDT 正样本/少样本学习,1–20 张良品即可在 5 分钟内完成 0 代码建模。

99.2%检出率
-85%误报率
<0.8%漏检率
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推荐机型:3D AI AOI · AOI 软件

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本文由人工智能生成。文中客户案例为基于产品真实能力的模拟场景,成效数字为示例性质;官方标定口径以产品页为准。