半導體 · 2026-07-07

半導體芯片顆粒與劃傷分類AI視覺檢測成效

微鏈道愛助力半導體芯片缺陷檢測

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半導體芯片顆粒與劃傷分類AI視覺檢測成效
半導體 / 芯片 · DaoAI AI 視覺應用

在半導體芯片生產過程中,顆粒與劃傷等缺陷的準確分類檢測至關重要。微鏈道愛憑借先進的AI視覺技術,為行業提供了高效的解決方案。

99.2%檢出率
- 85%誤報率降低
5min換型時間

用戶場景:某頭部半導體芯片廠商在芯片製造的後段封裝工序中,需要對芯片表面進行嚴格檢測。其產品為各類高性能芯片,檢測對象主要是芯片表面的顆粒與劃傷。這些顆粒可能來自生產環境中的灰尘、雜質等,而劃傷則可能在芯片搬運、加工過程中產生。準確分類和檢測這些缺陷,對于保證芯片的性能和可靠性至關重要。

痛點:傳統的檢測方法存在诸多量化困境。在漏檢方面,由于顆粒和劃傷的形態、大小各異,傳統檢測手段的漏檢率高達3%,這意味着大量有缺陷的芯片可能流入市場,影響產品聲誉。誤報率也不容小觑,達到了20%,過高的誤報導致大量良品被誤判,增加了複檢工作量和生產成本。此外,人工檢測不僅效率低下,而且人力成本高昂,同時在換型時需要花費大量時間重新調整檢測參數,換型時間長達30分鐘,嚴重影響了生產效率。而且對于一些隱藏在芯片內部的微小顆粒和劃痕,傳統的X光/CT檢測方法難以準確識別,無法滿足高精度檢測的需求。

技術原理

微鏈道愛采用先進的深度學習算法和自研的3D相機成像技術來解決這些問題。深度學習算法通過大量的樣本數據進行訓練,能夠學習到顆粒與劃傷的特征模式。對于不同形態、大小的顆粒和劃傷,算法可以準確地進行分類和識別。自研的3D相機能夠對芯片表面進行三維形貌重建,獲取芯片表面的詳細信息。這種三維成像方式可以檢測到隱藏在芯片表面微小凹陷或凸起中的顆粒和劃痕,而傳統的2D成像技術往往會忽略這些隱藏缺陷。通過三維形貌重建,能夠更全面、準確地檢測芯片表面的缺陷,提高檢測的精度和可靠性。

  • 深度學習算法具有強大的特征學習能力,能夠從複雜的圖像中提取出顆粒和劃傷的關鍵特征,從而實現準確分類。
  • 3D相機的三維形貌重建技術可以提供芯片表面的立體信息,弥補了2D成像的不足,有效檢測隱藏缺陷。
  • 算法的自適應調整能力可以根據不同的芯片類型和檢測要求,自動優化檢測參數,提高檢測的適應性和準確性。
  • 通過持續學習和更新模型,能夠不斷適應新出現的顆粒和劃傷類型,保持檢測的有效性。

微鏈道愛解決方案與產品介紹

微鏈道愛提供了DaoAI AI AOI軟件系統和DaoAI 2D / 3D AI AOI設備。DaoAI AI AOI軟件系統基于視覺基礎模型的特征認知,具有強大的正樣本/少樣本學習能力,僅需1 - 20張良品,即可在5分鐘內實現0代碼自動編程。同時,該系統還具備語義誤報過濾功能,能夠有效降低誤報率。DaoAI 2D / 3D AI AOI設備采用自研3D相機和三維形貌重建技術,可檢測隱藏焊點、共面度和微米級形貌,對于芯片表面的顆粒和劃傷能夠進行高精度檢測。在落地實施中,首先對系統進行初始化配置,根據芯片的類型和檢測要求設置相關參數。然後使用少量良品樣本對系統進行訓練,讓系統學習到正常芯片的特征。在生產過程中,設備對芯片進行實時檢測,軟件系統對檢測結果進行分析和分類,將有缺陷的芯片及時標記出來。

微鏈道愛的解決方案為半導體芯片生產提供了高效、準確的缺陷檢測手段。

量化成效:通過采用微鏈道愛的解決方案,該半導體芯片廠商取得了顯著的成效。在檢出率方面,從原來的97%提高到了99.2%,大大降低了漏檢率,使漏檢率從3%降低到了<0.8%。誤報率也大幅降低,從原來的20%降低到了3%,降低了 - 85%,減少了大量的複檢工作量和生產成本。換型時間從原來的30分鐘縮短到了5分鐘,提高了生產效率,能夠更快地適應不同芯片的檢測需求。

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