案例 · 2026-06-16

晶圆 AOI 后缺陷自动分类:从人工复判到 AI-ADC

AI-ADC 自动缺陷分类替代人工复判

返回洞察

传统 AOI 只能检出疑似缺陷,真伪判定与分类仍压在质检员身上;过杀失控既拖产能,也让良率数据失真。

<2%过杀率
−90%复判人机比
+30%产线节拍

该晶圆厂前道 AOI 设备每片晶圆产出大量疑似缺陷点位,但设备本身无法区分真实缺陷与划痕反光、颗粒残留等伪报。所有点位需由质检员逐一在显微图像上人工复判与归类,三班倒仍难以覆盖产量高峰,复判积压直接顶到出货节点。

长期运行下,该厂 AOI 过杀率维持在 20% 以上,意味着每五个报警就有一个是好的被误判,大量合格晶圆被退回重检,既消耗工时,也让缺陷分布统计失真,工艺端难以据此定位真实异常源。

DaoAI 产品方案

DaoAI 将 AI-ADC 自动缺陷分类模块接入 AOI 复判工位:AOI 输出的疑似点位图像直接进入 AI-ADC,模型在显微/微米级精度下区分真伪并归入预定义缺陷类别。针对历史样本不均衡的类别,采用 APDT 正样本学习配合 DaoAI World 世界模型泛化,减少对大量人工标注的依赖。

  • AI-ADC 对 AOI 报警点位做真伪二次判定,过滤伪报
  • 按颗粒、划伤、图形缺陷等类别自动归类并回写 MES
  • APDT 正样本学习覆盖低频缺陷,缩短上线周期
  • 分类结果反哺工艺端,定位真实异常源

过杀从 20% 以上压到 2% 以下,质检员从逐片复判转向异常仲裁。

上线后,该厂 AOI 过杀率由 20% 以上降至 2% 以下,复判环节人机比下降约 90%,质检员只需处理少量边界样本;复判不再成为瓶颈,整线节拍提升约 30%,缺陷分类数据也回归可用。

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