在半导体芯片制造过程中，光刻图形缺陷检测至关重要。微链道爱凭借先进的AI视觉技术，为半导体厂商提供了高效、精准的检测解决方案。
用户场景：某头部半导体芯片厂商的光刻工序中，需要对芯片上的光刻图形进行缺陷检测。其产品为高精度半导体芯片，检测对象是光刻图形中的各种细微缺陷，如线条断裂、短路、异物附着等。这些缺陷可能会严重影响芯片的性能和良率，因此必须进行严格检测。
痛点：传统的检测方法存在诸多量化困境。一是误报率较高，约为30%，大量的伪缺陷被误判为真实缺陷，导致后续的复检工作量大幅增加，浪费了大量的人力和时间。二是漏检问题也较为突出，漏检率达到1.5%，部分微小缺陷可能被遗漏，影响芯片的最终质量。此外，换型时间较长，每次更换产品型号需要约30分钟，严重影响了产线的生产效率。同时，由于缺乏有效的语义理解，难以准确过滤伪缺陷，进一步加重了误报和漏检的问题。
技术原理
微链道爱采用了先进的视觉基础模型和语义理解技术来解决上述问题。视觉基础模型具有强大的特征认知能力，能够对光刻图形的各种特征进行深入学习和分析。通过对大量正样本的学习，模型可以准确识别出正常的光刻图形特征，从而为缺陷检测提供准确的参考。语义理解技术则可以对检测到的缺陷进行语义分析，判断其是否为真实缺陷。例如，对于一些由于光照、噪声等因素导致的伪缺陷，语义理解技术可以通过对缺陷的特征和上下文信息进行分析，将其过滤掉，从而降低误报率。此外，微链道爱还采用了自研的3D相机和三维形貌重建技术，能够获取光刻图形的三维信息，检测隐藏的缺陷，提高检测的准确性。
- 视觉基础模型的特征认知能力使得模型能够快速学习光刻图形的特征，提高检测效率。
- 语义理解技术通过对缺陷的语义分析，准确过滤伪缺陷，降低误报率。
- 自研3D相机和三维形貌重建技术提供了更全面的图形信息，有助于检测隐藏缺陷。
微链道爱解决方案与产品介绍
微链道爱提供了DaoAI AI AOI软件系统和DaoAI 2D / 3D AI AOI设备来解决光刻图形缺陷检测问题。DaoAI AI AOI软件系统具有强大的特征认知能力，能够在一块良品5分钟内实现0代码自动编程，通过APDT正样本/少样本学习（仅需1 - 20张良品），快速建立准确的检测模型。同时，该系统还具备语义误报过滤功能，能够有效降低误报率。DaoAI 2D / 3D AI AOI设备采用自研3D相机和三维形貌重建技术，能够检测隐藏焊点、共面度和微米级形貌，提高检测的准确性和全面性。在落地过程中，微链道爱可以根据客户的具体需求，提供SDK / API / Docker等多种部署方式，支持100%本地私有化，确保数据不出厂。
微链道爱的解决方案为半导体光刻图形缺陷检测提供了高效、精准的保障。
量化成效：通过采用微链道爱的解决方案，该半导体厂商的光刻图形缺陷检测取得了显著的成效。检出率从原来的98.5%提高到了99.2%，漏检率从1.5%降低到了0.8%。误报率降低了 -65%，从30%降低到了10.5%。换型时间从原来的30分钟缩短到了5分钟，大大提高了产线的生产效率。