微凸点阵列密集且尺度极小,2D 灰度图易把镀层反光误读为桥连、把高度不足漏判为正常。
μm高度检测精度
3D形貌判定维度
↑缺失/桥连检出
该先进封装厂的微凸点 bump 间距已进入微米级,阵列密集。Bump 缺失、桥连(相邻凸点连成一体)、高度不足等缺陷直接决定后续互连可靠性。仅凭 2D 灰度图像,镀层反光常被误判为桥连,而高度塌陷的 bump 在俯视下与正常 bump 几乎无差别,漏判风险高。
这类缺陷一旦流出,在芯片堆叠键合后才暴露,返工成本成倍放大。传统 2D AOI 为压低漏判只能调严阈值,又把过杀推高,陷入两难。
DaoAI 产品方案
DaoAI 部署 3D AI-AOI 检测设备,以微米级三维形貌数据直接还原每个 bump 的高度与体积:缺失处高度归零,桥连处相邻凸点轮廓粘连,高度不足则低于设定基准,均可在三维数据上明确判定,不再依赖易受反光干扰的灰度。AI-ADC 对检出缺陷进一步分类,稀有形态以 APDT 正样本学习补充。
- 3D AI-AOI 采集微米级高度,直接判 bump 缺失与桥连
- 以三维形貌替代 2D 灰度,规避镀层反光误报
- 高度不足、共面性异常一并量化输出
- AI-ADC 分类缺陷,稀有形态用 APDT 正样本学习补足
用高度而非灰度判 bump,缺失和桥连从「看像不像」变成「量得准不准」。
上线后,bump 缺失与桥连的检出率显著提升,因镀层反光导致的误报大幅下降,过杀与漏判的两难被三维量化打破。缺陷在 bump 工序即被拦截,避免流入芯片堆叠后才暴露,返工损失明显收窄。